电容式传感器可以分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。又可按位移的形式分为线位移和角位移两种，每一种又依据传感器极板形状分成平(圆形)板形和圆柱(圆筒)形，虽然还有球面形和锯齿形等其他形状，但一般很少用。其中差动式一般优于单组(单边)式传感器，它具有灵敏度高、线性范围宽、稳定性高等特点。

电容式传感器具有结构简单、耐高温、耐辐射、分辨率高、动态响应特性好等优点，广泛用于压力、位移、加速度、厚度、振动、液位等测量中。但在使用中要注意以下几个方面对测量结果的影响：

1、减小环境温度、湿度变化(可能引起某些介质的介电常数或极板的几何尺寸、相对位置发生变化)；

2、减小边缘效应；

3、减少寄生电容；

4、使用屏蔽电极并接地(对敏感电极的电场起保护作用，与外电场隔离)；

5、注意漏电阻、激励频率和极板支架材料的绝缘性。